Huvudskillnaden mellan mikroanalys och semimikroanalys är att mikroanalys används för att analysera material som har mindre än 10 mg massa medan halvmikroanalys används för att analysera material som har cirka 100-500 mg massa.
Mikro- och halvmikroanalys är två typer av kvalitativ analys, vilket är analysen av material baserat på deras egenskaper istället för deras kvantiteter. Mikroanalys avser analys av material som har partikelstorlekar i mikroskalan. Olika metoder kan användas för mikroanalys. Semi-mikroanalys är å andra sidan en utvecklad metod för mikroanalys.
